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潔凈室工程師培訓教材(中)
2018.9.18

文章来源:由「百度新聞」平台非商業用途取用"http://www.sohu.com/a/82463291_408434"

我國過濾器分類與歐美國家分類的比較表,見表十三。B.各類過濾器效率的測試方法對于空氣過濾器的效率而言,相同的過濾器其效率的測試方法不同它們的效率的值也不相同,因此使用過濾器時不僅僅要了解其過濾效率,而且還要知道它們效率的測試方法。1,一般通風用粗效、中效、高中效過濾器效率的測試方法●計重法:有人工塵計重法和大氣塵計重法,此方法源于美國,國際流行,多用于粗效過濾器的效率測試。●比色法:源于美國,國際通行,用于中效過濾器的效率測試。●人工塵計數法:歐洲通行,將取代比色法,用于中效測試。●大氣塵計數法:我國的標準。見表9.2,高效過濾器測試方法●鈉焰法:中國標準。●DOP法:源于美國,國際通行。●油霧法:俄國標準,在德國和我國也通行。●MPPS法:歐洲標準將取代上述各種方法(最低透過率粒徑法)。C.各類空氣過濾器的功能和作用各種過濾器都具有一定的功能,都不是萬能的。它的功能就決定了它的作用和使用范圍。對其選用正確,使用合理,它們就能充分發揮功能,起到應起的作用;如果選用不當,使用不合理,不僅不能發揮其作用,有時還會產生相反的后果。它們的功能和作用如下:●粗效過濾器:其功能是去除≥5μm的塵埃粒子,在空調凈化系統中作為預過濾器。其作用是保護中效.高效過濾器和空調箱內的其他配件以延長它們的使用壽命。●中效過濾器:其功能是去除≥1.0μm的塵埃粒子,在空調凈化系統中作為中間過濾器。其作用是減少高效過濾器的負荷,延長高效和空調箱內配件的使用壽命。●高中效過濾器:其功能是去除≥1.0μm的塵埃粒子,在空調凈化系統中作為中間過濾器,在一般通風系統中可作為終端過濾器。●亞高效過濾器:其功能是去除≥0.5μm的塵埃粒子,在空調凈化系統中作中間過濾器,在低級凈化系統中可做終端過濾器使用。●高效過濾器:是空調凈化系統中的終端過濾器,它的功能是去除≥0.3μm的塵埃粒子,達到凈化目的。是潔凈室必備的凈化設備。●超高效過濾器:其功能是去除≥0.1μm的塵埃粒子,是建造高級別潔凈室(0.1μm潔凈室)的必備凈化設備,是該潔凈室的終端凈化設備。(二)、空氣處理機組的選擇空氣處理機組包括空調器(AHU)、新風機組(MAU)和循環機組(RAU),都是空調凈化系統常用的空氣熱濕交換和空氣凈化處理設備。A.工業潔凈室用空調機組工業潔凈廠房的空氣處理機組是服務于凈化空調系統的,因此空氣處理機組也必須滿足凈化空調所需的特點。1,潔凈廠房的溫、濕度和潔凈度要求嚴格,一般情況室內熱負荷很大、空氣處理的焓差很大、冷卻后的空氣的露點溫度很低,因此空氣處理機組的保溫性能要好(保溫材料為聚苯乙烯或聚氨脂發泡時保溫層厚度≥40mm),防止表面結露,冷耗過大;同時還應避免冷橋現象的產生。2.因凈化空調系統總阻力較大,故要求空調機組的風機壓頭很高(≈1500Pa),因此隨之要求空調機組圍護板壁的強度和剛度要好,不要產生負壓段凹進去,正壓段凸出來的變形。3.為了減少冷損失和漏風,則要求空調機組的密封性能好,特別是段與段的聯接處和門開啟處的密封。按標準要求空調機組的漏風率≤1%。4為了保證潔凈廠房的溫、濕度和潔凈度,并且盡量節省能量,要求空調機組有較好的自動控制,如風機的變頻等。又因為空氣的冷、熱、濕處理的功能較多,故空調機組體形較大、長度較長。B.生物潔凈室用空調機組生物潔凈室是以微生物(細菌、病毒等)為主要研究對象的,微生物與塵埃粒子不同,它是活的、不斷生長繁殖的粒子,因此服務于生物潔凈室的空氣處理機組應具備如下特點:1.為了方便滅菌、消毒、空調機組的內表面以及內部的零配件應耐消毒藥品的腐蝕,表面要光潔。2.因為潮濕是微生物生長的最佳條件。因此,空調機組內部不能集水集塵,結構要方便排水;表冷器凝結水應設有自動防倒吸功能,并順利排出凝結水;更不能采用淋水段。3.空調機組的加濕只能采用干蒸汽加濕器(電極式或電熱式蒸汽加濕器),而不能使用濕膜、超聲波和高壓噴霧等有水的加濕器。4.為了防止空氣帶水,空調器表冷器的斷面風速V2.0m/s。5.空調機組的密封要可靠,其漏風率≤1%。6.空調機組的強度和剛度要好,有一定的承壓能力。7.各級(粗效、中效、亞高效)過濾器的過濾效率要高,而且最好采用一次性的拋棄型過濾器。C,表冷器、加熱器、加濕器的選擇1.表冷器是空調機組降溫去濕的關鍵設備,一般表冷器由銅管和鋁翅片構成。表冷器的換熱面積(排數)要經計算求得,在設計中,設計人員要把空氣經表冷器處理前后的參數(溫度、相對濕度或焓)以及冷凍水的供回水溫度提供給供貨商,由供貨商計算和配置表冷器。表冷器后面要設擋水板,表冷器下部設滴水盤,凝結水排水要通暢,排水管上要合理地設置水封。水封的高度要與空調器內的壓力相匹配。2,加熱器是空調機組中的加熱設備。在空調機組中有一次加熱(預熱)和二次加熱(再熱)兩組。加熱的熱媒有蒸汽、熱水和電。a.一次加熱(預熱)器設置在新風進入空調機組處,其目的是為了防凍和防混合結霜、結霧。因此,一次加熱器一般用在北方(長江以北)較冷的地區。長江以南不會結凍的地區可不設一次加熱器。一次加熱后的新風溫度一般為+5℃。用加熱器后的溫度探頭來控加熱量。一次加熱的熱媒最好是蒸汽和電,如果用熱水做熱媒要考慮加熱器本身的防凍問題。b.二次加熱(再熱)器設在表冷器之后,設置目的是為了調節潔凈廠房內的溫、濕度以達到設計參數。因為,二次加熱量越小就越節省空調的運行費用,故在設計時要選擇二次加熱量較小的節能方案。二次加熱的熱媒最好用熱水,因為熱水在溫、濕調節時比較穩定可靠。c.當潔凈廠房的溫、濕度精度要求極高和非常嚴格時,為了確保其參數有時在風管上還要設置微調的電加熱器。3,加濕器是空調機組中的加濕設備,在冬季時為了保證潔凈廠房內必要的相對濕度,必須對空調送風進行必要的加濕。加濕器一般有兩種,一種是以水為加濕源的等焓加濕。如濕膜、淋水、超聲波、高壓噴霧等加濕器。這種加濕方法簡單、價格便宜,加濕量也大,但其加濕的精度較差。一般相對濕度要求在10%的情況下用得較多。水加濕的方法不應用在生物潔凈室。因為,水加濕會給微生物提供良好生存繁殖條件。另一種加濕方法是以蒸汽為加濕源的等溫加濕。如蒸汽加濕器、干蒸汽加濕器、電極式(電熱式)蒸汽加濕器等。這種加濕方法必須有蒸汽源,如果沒有蒸汽必須用電來產生蒸汽。此種加濕方法價格較高,但加濕精度很高,當相對濕度要求≤±5%時應采用等溫加濕方法。它廣泛應用在電子工業的潔凈廠房和生物潔凈室的加濕中。4,淋水室和化學過濾的應用①淋水室是空調熱濕交換的空氣與冷媒直接接觸的方式。此種淋水形式不僅可用于熱濕交換上,還可以對新風進行品質上的處理。例如,集成電路用的潔凈廠房其污染源不僅僅是塵埃粒子,而且,重金屬離子和分子級低濃度的化學污染也成為超大規模集成電路生產的重要污染源,當凈化空調系統的新風采用淋水室的濕法處理時,可以去除新風中的NH4、SO4、NO3等分子級的化學污染,當采用自來水和純水兩級淋水時其效果會更好。②活性碳過濾器和化學過濾器是空調機組中去除異味和分子級低濃度的化學污染的重要設備,一般多用在新風機組中。(三)、消聲器和消聲彎頭的選擇潔凈廠房的噪聲按國家規范“潔凈廠房設計規范”(GB50073-2001)的規定,單向流潔凈室空態噪聲≤65dB(A);非單向流潔凈室空態噪聲≤60dB(A)。這就要求在凈化空調系統的送風、回風管道上(排風管道上)都要設置必要的消聲設備,尤其在回風管道上。消聲器的選擇要進行計算。潔凈廠房的凈化空調系統的消聲器和消聲彎頭不應給凈化系統帶來污染。最好采用微孔板式消聲器和消聲彎頭,也可選用其他潔凈空調系統專用的阻式或抗式消聲設備。凈化空調機組送風機的選擇凈化空調系統的送風機設在空調機組內,其送風機應具有如下特點:A,有足夠的余壓。一般除克服機外管網系統的總阻力以外,還要考慮克服高效過濾器的終阻力和一定的安全裕量。但風機壓頭選得過大不但能耗大,而且還會產生較大的噪聲。B,要有足夠的送風量。即消除室內余熱、余濕和凈化的最大風量,并且還應有10%的的安全裕量。C,風機應為變頻風機,送風量依系統阻力變化可以自動調節,即保證了潔凈廠房內的溫、濕度和潔凈度又做到節省耗源。D,要高效率和低噪聲。(四),FFU及干冷盤管的選擇A.FFU(風機過濾器單元)。FFU是近年普通應用在單向流和混合流中的重要凈化設備。它是有標準模數尺寸(1200×600mm,600×600mm,1200×1200mm等)的風機和過濾器(高效過濾器、超高效過濾器)的組合體做為潔凈室的終端設備,分散或集中地布置在潔凈廠房的吊頂上。為了保證潔凈廠房的室內參數,它經常與干冷盤管和新風機組組合使。FFU示意圖見圖三十。圖三十FFU示意圖其性能參數最好是:1,斷面平均風速為0.45m/s,而出風速度的均勻性應為平均風速的±20%。2,FFU的機外余壓應≥100Pa,最好是140Pa以上。3,FFU的單體噪聲應≤50dB(A)。因在單向流潔凈廠房中往往成百臺上千臺的FFU集中設在吊頂上,如果單體噪聲太高,則疊加噪聲就不能被接受。4,斷面風速可調。智能化調節,變頻調節都是可行的。B、干冷盤管.干冷盤管是新風機組加干冷盤管加FFU空調凈化送風方案的潔凈廠房控制溫度的關鍵換熱設備,設置在潔凈廠房回風夾道的下部或上部。對其性能要求如下:1,為了避免在系統正常運行時干冷盤管產生結露現象,因此通過干冷盤管的進水水溫要高于室內空氣露點2℃。2,為了導走潔凈廠房空調系統啟動時產生的冷凝水,干冷盤管系統還要設置滴水盤和排水系統。3,干冷盤管的排數最好為雙排,而且空氣通過時阻力不能太大,因此盤管鋁翅片的間距最好為3mm。4,為了減少空氣通過盤管的阻力,通過盤管的風速應2m/s。(五)局部凈化設備的選擇1.吹淋室。吹淋室是凈化進入潔凈廠房人和物的局部凈化設備,它是利用高速V≥25m/s的潔凈氣流(經過中效和高效過濾器過濾的氣流)使人的衣服抖動,將人身上附著的塵埃粒子或物品表面附著的塵埃粒吹落得到凈化。吹淋室最重要的性能指標就是噴嘴的出口風速應≥25m/s。其風機的風壓最好是800Pa。吹淋室有單人、雙人、多人和通道式多種。吹淋室示意圖見圖三十一。2.自凈器。自凈器是風機和過濾器組合的局部凈化設備。將其設置在房間內,它可以使室內的空氣不斷地通過它的過濾器過濾而得到凈化,這樣往返不斷地循環凈化使室內的空氣自凈。自凈器示意圖見圖三十二。3.潔凈工作臺潔凈工作臺是設在空調房間或低級別的潔凈廠房內的局部凈化設備,它是風機和高效過濾器的組合體,可在局部創造出100級、10級等高級別潔凈度。其性能有:風機的風壓和噪聲(風壓200Pa,噪聲65dB(A)、高效過濾器的效率和斷面風速(高效過濾器的效率)≥99.99%(≥0.3μm),斷面風速、V≥0.35m/s)。潔凈工作臺示意圖見圖三十三。4.生物安全柜生物安全柜是用于P1~P4生物安全實驗室中的生物凈化和生物安全設備。它按使用要求不同可劃分為Ⅰ級、Ⅱ級和Ⅲ級生物安全柜。生物安全柜用于對人和環境有害的病菌和微生物的實驗。為了安全要做到保護實驗操作人員,保護實驗對象和保護周圍環護的三保護。實驗對象要在100級無菌環境實驗;為了保護操作人員和環境生物安全柜內必須有足夠的負壓度。生物安全柜示意圖見圖三十四。5.層流罩層流罩也是風機與高效過濾器組合的局部凈化設備,在局部區域創造100級或更高的凈化環境,滿足生產工藝的要求。其大小尺寸可隨工藝設備的大小而定。它是設在低級別的潔凈廠房之中,因此對其噪聲有較高的要求,其出風的斷面風速應≥0.3m/s,風機的風壓應200Pa。層流罩示意圖見圖三十五。四.潔凈室的建造特點(一)建造投資費用高高級別潔凈室的建造費用很高,一般來說,100級垂直單向流的潔凈室,其室內裝修(墻、頂、地、門、窗等)和空調凈化系統(包括制冷空調設備和管道配件、凈化設備和配件等)的初投資大約為10000元人民幣/m2;如果加上純水制備設備和系統管道,純氣發生和系統管道,廢水治理設備和管道,消防系統,供配電和自控系統,真空清掃系統等等,其單位面積的建造投資費用要高達25000~30000元人民幣/m2。就拿已投產的上海華虹NEC超大規模集成電路芯片生產線潔凈室舉例來說,華虹NEC為月投片30000片8"硅片集成電路前工序生產線,有潔凈室面積約12000m2,其中10000m2是在中心部位,另2000m2在邊跨上。在中心部位的10000m2潔凈室中有4000m2的1級、10級和100級的垂直單向流潔凈室,另外6000m2分別為1000級和10000級的非單向流潔凈室,總送風量約6,400,000m3/h。于1998年底建成投產。該項目總投資約100億人民幣,其中動力設備和土建投資為20億人民幣,占總投資的五分之一。單核心部分的10000m2的潔凈室的建造費用就高達6000萬美元(約5億人民幣)(日本三機株式會社施工),折合每平方米建造費用約50000元人民幣/m2。(二)運行管理費用大因為高級別潔凈室凈化風量大,新風量也大,溫濕度要求嚴格,所以空氣熱濕處理和空氣輸配的能量消耗大,耗電多,運行費用貴。還拿上述華虹NEC為例,其核心部分10000m2潔凈室總的送風量為6,400,000m3/h,輸送凈化空氣的風機耗電量為3840Kw/h,全年電費為1659萬元(每度電按0.6元/設計),空氣熱濕處理的耗電量約10000Kw/h,全年電費為6000萬人民幣。全年空調凈化系統本身的運行費用就高達7659萬元人民幣。折合每年單位面積的運行費用為7659元/m2年。(三)靈活適應性強因為,科學技術的發展很快,高科技的產品不斷出現,尤其是電子工業的發展更是日新月異,像集成電路的發展2~3年就更新一代,TFT-LCD的發展速度更快1~2年就上一個臺階。這就要求為其服務的高級別的潔凈室必須能適應其發展速度,有極好的靈活性和適應性。因為建造一個潔凈廠房是百年大計,不是一、二年就會拆掉重建。因此,在設計和建造潔凈廠房時,就要考慮到工藝的發展、變更,就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應性。從一個潔凈廠房的靈活適應角度,可將其分為三個層次,第一是不可變的部分。無論怎樣改都不能改變的部分。如基礎、梁、柱等結構部分;第二是可變但不容易變的部分。如潔凈室的圍護、裝修等;第三是可變而且容易改變的部分。如動力、空氣、水、氣體溶劑的供給部分和廢氣、廢水、廢料等排放部分。(四)安全、可靠性好從前面(一)、(二)兩條特點可以得出建造和使用這樣的潔凈室要付出何等的代價。但是為了生產出高可靠、高質量的高科技產品也必須具備這樣的生產環境。因為,建造潔凈室的目的是為使用,是為了得到高成品率合格產品。為了達此目的,設計和建造潔凈室必須把安全可靠放在第一位。保證所建造的潔凈室在潔凈度、溫濕度、風速、壓力等所有參數必須滿足生產工藝的要求,保證安全、可靠、不出事故。這一點絕不能馬虎,更不能打折扣,要萬無一失,只有這樣才能有效益,才能達到建造潔凈室的目的。五.潔凈室的竣工驗收調試,性能測試和潔凈室的綜合評價竣工驗收的調試工作要分以下四個步驟進行。①調試前的準備工作。②單機試車。③聯動調試。④潔凈室的性能測試和綜合評價。(一)調試前的準備工作A,調試的組織準備:成立以建設單位(業主)為組長的有設計單位、施工單位、監理單位人員參加的調試小組。調試小組領導調試的全面工作,調試小組協調各方面的關系,調試小組為調試工作提供各種軟硬條件。B,編制調試大綱在調試小組領導和組織下,編制調試大綱。調試大綱是調試工作的指導性文件。調試大綱的內容包括:組織分工、人員安排、物資調動;調試項目、調試方法、調試儀表;調試程序、調試進度、調試計劃安排等。調試大綱的編制使調試人員思想明確、認識統一、步調一致、行動整齊,使調試工作順利進行。C,施工現場質量的會檢。在調試小組的領導組織下,有建設單位、設計單位、施工單位、監理單位的有關領導和技術人員參加,對施工現場、施工質量進行全面會檢。從冷凍站、換熱站、鍋爐房、變配電站、空調機房到供冷、供熱、供電系統、空調凈化系統和自動控制系統。從設備(冷凍機、鍋爐、水泵、冷卻塔、空調器等)、配件(閥門、風口、消聲器等)、管道和管線到保溫、設備基礎、管道支吊架等的工程施工質量進行全面會檢。看是否按圖施工、查與設計圖不符之處,找施工質量不合格項目并查其原因。并對施工、加工、安裝等質量問題逐一填寫“缺陷明細表”,提出整改意見,限期(正式調試之前)整改完畢。D,空調設備、空調系統的清掃:1,調試之前對潔凈室進行全面、徹底的清掃是十分必要的。對潔凈室的地面、墻面、吊頂、門窗進行認真、全面、徹底的大掃除(最好請專業的清潔公司);對空調設備、空調管道(送風管、回風管、新風管),空調配件(清聲器、閥門、風口等)進行檢查、檢漏和擦試。達到潔凈要求為止。2,安裝粗效、中效過濾器進行第一次空吹。在徹底清掃的基礎上,安裝空調器內的粗效和中效過濾器。對整個凈化空調系統進行空吹,空吹時間為24~36小時,使整個系統得到初步的凈化。3,安裝高效過濾器。系統空吹后可以安裝高效過濾器。高效過濾器在安裝之前,要求對其逐一進行檢漏,對有泄漏者進行堵漏。檢漏在臨時檢漏臺上進行,塵源利用大氣塵。被檢合格的高效過濾器方能進行安裝,安裝完畢后對高效過濾器的安裝密封再進行檢漏(利用塵埃粒子計數器掃描),達到安裝合格。4,高效過濾器安裝檢漏合格后再對凈化空調系統進行第二次空吹。空吹時間24小時,然后方可進行入調試程序。E,測試儀器、儀表、工具的準備1,調試前要對調試中所用的儀器儀表進行調試和標定(超過使用時間還需重新進行標定)。所用的儀表包括測量風速、風量、溫度、相對濕度、壓差、噪聲、振動、轉數、時間、大氣壓力和潔凈度的儀器儀表等。2,調試所用的器材、工具的準備。如:電工工具、管工工具、扳金工工具、鉗工工具以及爬高上下的梯子等。并且請施工單位配合電工、管工、扳金工和鉗工。3,調試和測試工作所用的圖紙和記錄表格的準備。(二)單機試車單機試車是對工程中的所有的設備、配件等單體進行試車。單機試車的目的是對這些設備、配件的安裝質量和產品出廠質量的檢查和考核。單機試車的主要內容有:水、電先行。即首先對供水供電的設備和系統進行檢查和考核。如水泵、變壓器、配電箱、開關等。要保證供水、供電的正常、可靠。進而,對供冷設備(冷凍機、冷卻塔、冷凍水泵、冷卻水等)、供熱設備(鍋爐、換熱器、熱水泵等)、空調設備(表面冷卻器、加熱器、加濕器、過濾器、風機等)、自動控制設備、儀表、閥門以及各系統的配件進行單體考核。看是否能滿足設計要求和正常運行。尤其對轉動設備如風機、水泵要試轉看是否運轉平穩,有無雜音和碰撞和反轉現象;用電設備接線是否正確;冷凍機和鍋爐是否能達到設計要求;空調器中表冷器的降溫去濕能力、加濕器的加濕能力等等進行單體檢查、考核。如果出現故障和發現問題,應立即排除。對于大型設備如冷凍機、鍋爐、空調器等(尤其是進口設備)在單機試車時最好有生產廠家的調試人員現場指導或由生產廠家負責試車,待運轉正常后再移交給使用單位。單機試車為聯動調試做好各個單體設備的準備工作。(三)聯動調試聯動調試一般情況下分為兩個階段進行,即風量分配階段和聯動調試階段。A,風量分配:風量分配即將各個潔凈室的送風量、回風量、新風量、排風量全部按設計要求調整到設計風量。因為一個潔凈廠房可能有多個空調送風系統和排風系統,或一個空調送風系統要負擔多個潔凈室的送風。因此,風量分配調試工作是一項工作量大、時間長、耐心細致的工作。風量分配調試工作也是整個調試工作的重點工作。常用的風量分配調試方法采用標準風口法。標準風口法:一個潔凈室可能有幾個、幾十個空調送風口、回風口。因為它們之間都是相通的,當調整某一個風口送風的風量時其他送風口的風量也會跟其變化。因此,采用標準風口法。所謂標準風口法,就是在風量分配之前,將所有閥門都開到最大的情況下,在所有的送風口這中找到最不利的送風口(送風量最小的送風口),將此風口作為標準風口。在標準風口上設一監測儀表,隨時測試標準風口的風量變化。然后調整其它所有風口風量。因為調整任何一個風口風量時,都會影響已調整過的風口的風量的變化;因此,在調整任何一個風口風量時,都要以標準風口當時風量為參照風量,使所有被調風口的風量均隨標準風口的風量變化而同步變化。當一個凈化空調系統負責多個潔凈室空調時,調試要以潔凈室為單位由末端向總干管方向進行,對各潔凈室首先調整其送風量的相對關系量,然后,再用系統的總閥門來將每個送風口,每個潔凈室的送風量都調整為真實的設計送風量。B,聯動調試聯動調試在風量調整和單機試車后進行。聯動調試就將凈化空調系統和為凈化空調系統服務的所有系統即:供冷系統(冷凍機、冷卻塔、水泵以及供冷系統上所有的配件)、供熱系統(鍋爐、水泵以及供熱系統上所有配件)、供電系統(配電箱、變頻器……)和自動控制系統全部投入運行,考核各系統的綜合性能和聯動性能。必要時,在潔凈室內人為的設置一定量的負荷,考核溫、濕度探頭、中間儀表和執行機構的聯動是否敏感、協調;考核溫、濕度探頭是否準確,精度是否合格。(四)潔凈室的性能測試和綜合評價在風量調整和聯動調試的基礎上,潔凈室空調凈化系統以及為其服務的所有系統,均處于正常運行狀態。接著進行潔凈室的性能測試和綜合評價。A,潔凈室的性能測試:潔凈室性能測試內容包括:潔凈度測試、風量測試、正壓測試、風速測試(單向流潔凈室)溫度、相對濕度測試、噪聲測試等。1,潔凈度測試:采樣點布置在工作面上(0.8~1.0m),采樣點數量N=A1/2(A是潔凈室面積‘m2’)。塵埃粒子計數器的采樣量要大于1升/分;每個采樣點連續有效采樣三次。取其平均值做該點的測量值。全部測點的測量值的平均值作為潔凈室的潔凈度。2,風量或風速測試:單向流潔室測量斷面風速、非單向流潔凈室測其風量。斷面風速的測量:距吊頂上送風高效過濾器(HEPA)300mm處布置測點,測點間距為600mm,用熱球風速儀測其各點風速。風量測試:在送風管或送風口上測送風風量。方法是用比托管和微壓差計,測風管內各點的動壓,測點間距為100mm。再計算送風量。3,正壓測試:在關門的狀態下,測潔凈室的正壓。采用補償式微壓計測量。B,潔凈室的綜合評價。在對潔凈室性能測試的基礎上,根據對潔凈室潔凈度、溫、濕度、正壓、風量、噪聲等測試結果,對潔凈室的建設和性能進行竣工驗收的綜合評價。六.潔凈室的性能測試(一)潔凈室性能測試的目的潔凈室性能測試的目的主要有兩項:其一是為了潔凈室的竣工驗收,其二是為了檢查潔凈室的運行是否正常。1、凈室竣工驗收的性能測試根據(潔凈室施工及驗收規范)和(潔凈廠房設計規范)的要求,潔凈室竣工驗收分兩步進行,第一步是竣工調試和性能測試,第二步是潔凈室性能的綜合評價。潔凈室性能的綜合評價是潔凈室工程竣工驗收的重要環節,而潔凈室性能測試又是潔凈室性能綜合評價的基礎。潔凈室性能測試所需要測試的項目以下:①通風機的風量和轉數;②風量及其平衡;③室內靜壓及其調整;④自控系統的聯動;⑤高效過濾器的檢漏;⑥室內的潔凈度;等六項。其中主要三項是,潔凈度,風量和室內靜壓。2、潔凈室運行狀態下的定期性能測試根據(潔凈廠房設計規范)的要求,因生產的復雜性和維護管理工作的主,客觀原因造成潔凈室性能的下降,必須對潔凈室進行定期的性能測試,檢測的頻數見下表。表十四潔凈室性能測試的內容和頻數

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